日本ulvac供应-日本ulvac-捷恩

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解决方法：1.清除真空泵后换符合要求的油2.清除真空泵后换符合要求的油3.检查并拆换截流阀4.拆换截流阀5.拆换抽路、检修密封件

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（2）合适的粘度和---的粘温特性：真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和---的粘温特性。

（3）---的热氧化---性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解。而扩散泵往往处于---的环境温度（可达200℃）下工作，使系统内蒸汽压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有---的热氧化---性。